제품 정보：
뒷면 웨이퍼 마킹기는 고정밀 작동 플랫폼과 폐쇄 루프 수치 제어 시스템, 고해상도 CCD 영상 포지셔닝 기술과 AOI 검사 기능을 채택하여 뒷면 웨이퍼 마킹을 할 수 있으며, 전자동 웨이퍼 로딩 및 언로딩을 실현하며, 완전히 독립적인 지적재산권을 가지고 있습니다.
제품 장점：
1. 시각: ±10um, 플랫폼 반복: ±5um, 설비 정밀도: ±50um;
2. 싱글헤드 효율이 일반 듀얼헤드보다 50% 높으며 8,12 inch Foup, Cassete와 호환 가능;
3. 웨이퍼 스무딩 유낫 설치, 소프트 웨이퍼 마킹 가능, 고정밀 하드웨어 구성으로 대응 가능한 웨이퍼 들뜸 ≤ 12mm;
4. 레이저: 녹색광 레이저, 공랭식 방열, 모듈러 설계;
