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    オンラインチューブPECVDローダー＆アンローダー
    製品説明：
    オンラインチューブPECVDローダー＆アンローダーは、シリコンウエーハをシリコンウエーハ搬送カセットからPECVDグラファイトボートに、またはPECVDグラファイトボートからシリコンウエーハ搬送カセットに自動的にローディングする装置。
    製品メリット：
    1. 速度：6,000枚/時間。
    2. 非常に低い破損率：≤0.03％。
    3. サーフェスアレイおよびラインスキャンAOIカメラと互換性のあるリザーブPLステーション。
    4. ウェハの断片化率を低減するためのソフトタッチ設計コンセプト。
    自動ローディング、低破損率、高生産能力
    友情链接: